熱分解工藝一般分為直燃（TO）、蓄熱燃燒（RTO）、催化燃燒（CO）、蓄熱催化燃燒（RCO）四種，只是燃燒方式和換熱方式的兩兩組合不同，主要是用于處理吸附濃縮氣，也可以用于直接處理廢氣濃度大于3.5g/m3的中高濃度廢氣。

  TO是將高濃度廢氣直接送入燃燒室直接燃燒，高溫燃燒氣通過(guò)換熱器與新進(jìn)廢氣間接換熱后排掉，換熱效率一般低于60%，導(dǎo)致運(yùn)行成本很高，只有少數(shù)能有效利用排放預(yù)熱或有副產(chǎn)燃?xì)獾钠髽I(yè)中應(yīng)用。

RTO的燃燒方式和TO相同，只是將換熱器改為蓄熱陶瓷，高溫燃燒與新進(jìn)廢氣交替進(jìn)入蓄熱陶瓷換熱，熱利用率達(dá)到90%以上，運(yùn)行成本較低，是目前的主流工藝。

CO是采用貴重金屬催化劑降低廢氣中有機(jī)物與O2的反應(yīng)活化能，使得有機(jī)物可以在250-300℃較低的溫度就能充分氧化成CO2和H2O。是無(wú)焰燃燒，熱利用率一般低于75%，常用處理脫附后高濃度廢氣。

RCO和CO燃燒方式相同，換熱方式與RTO相同，投資堪比RTO且處理廢氣種類(lèi)受催化劑影響，種類(lèi)少于RTO。

綜上所述，這就是現(xiàn)行工藝主要是RTO和CO的原因。那RTO與CO在必選方面又有什么不同呢？

廢氣種類(lèi)上：含硫磷類(lèi)廢氣會(huì)使CO中毒，不能用CO。忽略少部分硫磷類(lèi)廢氣的燃燒腐蝕可以限制性使用RTO。兩種工藝都不能處理含鹵代烴廢氣，避免產(chǎn)生二噁英。含硅烷類(lèi)廢氣使用要注意考慮二氧化硅的堵塞問(wèn)題。RTO預(yù)處理要達(dá)到F6級(jí)，CO預(yù)處理僅需G4 級(jí)別。

廢氣濃度來(lái)說(shuō)：通常溫度的提高會(huì)降低有機(jī)物的爆炸下限，需控制廢氣進(jìn)口濃度低于25%LEL。CO可以通過(guò)控制溫度和進(jìn)口廢氣濃度而達(dá)到熱平衡而不需要額外能源。RTO則一直需要一個(gè)長(zhǎng)明火點(diǎn)燃廢氣。

廢氣流量而言：?jiǎn)翁?/font>RTO流量為8000-50000m3/h，單套R(shí)CO流量為1000-20000m3/h